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时间分辨率 |
＜15ns |
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最高空间分辨率 |
100μm（整晶圆探测） |
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寿命成像速度 |
约15min/晶圆片 |
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探测波长 |
1064/532/355/266nm可切换 |
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检测尺寸 |
可实现4寸/6寸/8寸 |
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检测功能 |
可实现表面和体相寿命成像检测 可兼顾光学明场成像，实现表观样品成像检查 可兼顾荧光检测，实现缺陷探测和成像 |
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